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[交流]
肖特基势垒
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最近做一组半导体测试,上面电极是Al,为了减小肖特基势垒我做了退火,形成Al-Si固溶体。但是情况表明退火破坏了半导体内部一些东西(很薄,500 nm不到)。 我想询问一下半导体的同学,不做退火的情况下,比如说Al-Si,Au-Si,Ti-Si,之间的肖特基势垒会有不同么?或者受Si的掺杂为(p+ 1e-18 cm-3)与(p+ 1e-20 cm-3)之间,会有不同么? [ Last edited by jb_zrj on 2012-5-13 at 19:16 ] |
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