| 查看: 461 | 回复: 0 | |||
季岩冰专家顾问
小沙弥
|
[求助]
多晶金刚石晶棱上的缺陷
|
|
如题， 金刚石膜是采用MPCVD法，以氢气和甲烷为工作气体，并加入了少量氮气，在钼基底上沉积制备得到的(自己做的装置，可能有点漏气)。刻蚀是在ECR装置中进行的（基板接地，未加热），工作气体为氧气。刻蚀后晶棱处像是被割裂开了一样，金刚石膜长得不是很好，晶棱处不是很完整，但是长得相对较好的位置处也有类似张裂的痕迹。我主要从两个方面考虑，一个可能是和等离子体有关，考虑的是等离子体和材料的作用机理，这个主要是从鞘层方面分析的；另外一个可能是和金刚石本身有关，可能是晶棱处有什么很特别的缺陷或是其他什么原因，但是关于晶体这一块相对薄弱，不知道从哪个方面思考，一直没有一个特别合理的解释，特向大家求助！ 另外附上两张SEM图。[ 来自科研家族 材料家族 ] |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 未刻蚀部分-1.jpg
- 附件 2 : 被刻蚀部分-1.jpg
2012-05-11 20:52:40, 346.73 K
2012-05-11 20:52:48, 483.65 K
» 本帖@通知
» 猜你喜欢
26年博士招生
已经有16人回复
-
江西理工大学功能晶态材料方向刘遂军课题组招收2026年秋季入学博士研究生
已经有11人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有55人回复
-
宁夏大学团簇新材料团队招收材料/化学/化工专业博士生
已经有0人回复
-
MIL-101有单晶样品吗
已经有1人回复
-
已删除
已经有3人回复
-
收调剂研究生
已经有2人回复
-
【2026 考研调剂】哈尔滨工程大学核科学与技术学院核化工系 招收调剂生
已经有3人回复
-
【2026 考研调剂】哈尔滨工程大学核科学与技术学院核化工系 招收调剂生
已经有1人回复
-
广州大学环境大分子材料研究所2026年研究生招生简章
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~
一种兼具玻璃陶瓷和金属性能新材料问世
已经有12人回复
- 用什么参数来表征 晶粒内晶格缺陷的多少 ？
已经有5人回复
- 【交流】做晶体考博首选的学校或研究所的课题组简介--重奖
已经有38人回复
- 【求助】请有时间的兄弟帮忙算下立方金刚石各晶向的晶面间距
已经有4人回复
- 【求助】光为什么能通过玻璃
已经有74人回复
- 【原创】如何计算中性杂质的形成能
已经有66人回复
- 【求助】弱问金刚石立方
已经有9人回复
点击这里搜索更多相关资源科研从小木虫开始，人人为我，我为人人
