应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体解析 » 多晶金刚石晶棱上的缺陷
11/1返回列表
查看: 439  |  回复: 0
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

季岩冰

至尊木虫 (正式写手)

小沙弥

[求助] 多晶金刚石晶棱上的缺陷

如题，
金刚石膜是采用MPCVD法，以氢气和甲烷为工作气体，并加入了少量氮气，在钼基底上沉积制备得到的(自己做的装置，可能有点漏气)。刻蚀是在ECR装置中进行的（基板接地，未加热），工作气体为氧气。刻蚀后晶棱处像是被割裂开了一样，金刚石膜长得不是很好，晶棱处不是很完整，但是长得相对较好的位置处也有类似张裂的痕迹。我主要从两个方面考虑，一个可能是和等离子体有关，考虑的是等离子体和材料的作用机理，这个主要是从鞘层方面分析的；另外一个可能是和金刚石本身有关，可能是晶棱处有什么很特别的缺陷或是其他什么原因，但是关于晶体这一块相对薄弱，不知道从哪个方面思考，一直没有一个特别合理的解释，特向大家求助！
另外附上两张SEM图。[ 来自科研家族 材料家族 ]
回复此楼

» 本帖附件资源列表

  • 欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
    本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com
  • 附件 1 : 未刻蚀部分-1.jpg
    • 2012-05-11 20:52:40, 346.73 K
  • 附件 2 : 被刻蚀部分-1.jpg
    • 2012-05-11 20:52:48, 483.65 K

» 本帖@通知

@donkeypku

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2012-05-11 20:53:33
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

科研从小木虫开始，人人为我，我为人人
相关版块跳转 我要订阅楼主 季岩冰 的主题更新
11/1返回列表
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭