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Parylene C layer怎么能除掉呢？555555怎么没人理我呢……大家帮帮忙吧~~~
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玻璃表面coat了一层Parylene C, 大概1 um厚，现在想把这层拿掉，除了plasma clean之外还有别的方法嘛？因为实验室的plasma功率不够，最高只有50 Watt，弄了半天都不行。还试过了用浓硫酸和双氧水3：1的混合物泡，但是也不行。不知道大家有没有什么好办法？谢谢啦~ [ Last edited by catdog0613 on 2012-5-11 at 06:22 ] |
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wbcui
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2楼2012-05-11 13:45:55