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Parylene C layer怎么能除掉呢?555555怎么没人理我呢……大家帮帮忙吧~~~
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catdog0613
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Parylene C layer怎么能除掉呢?555555怎么没人理我呢……大家帮帮忙吧~~~
玻璃表面coat了一层Parylene C, 大概1 um厚,现在想把这层拿掉,除了plasma clean之外还有别的方法嘛?因为实验室的plasma功率不够,最高只有50 Watt,弄了半天都不行。还试过了用浓硫酸和双氧水3:1的混合物泡,但是也不行。不知道大家有没有什么好办法?谢谢啦~
[
Last edited by catdog0613 on 2012-5-11 at 06:22
]
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