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vancyamy

银虫 (小有名气)

[求助] CVD法 。。液体前驱物

求问一个关于CVD的试验。。  采用鼓泡法把液体前驱物带(如四氯化硅)进管式炉的时候,液体的加热温度(水浴温度)应该为多少度呢? 是液体的沸点温度么?  那么通过鼓泡后 载气带出来的反应气体的浓度又怎么确定呢? 求CVD高手指点。。谢谢!!!
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vancyamy

银虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 丛林鸟 at 2013-06-17 13:41:06
请问楼主用SiCl4沉积什么呢???

沉积 Si 啊。。。。
8楼2013-11-20 06:02:14
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傻静静

金虫 (著名写手)

快乐家族--傻静静

楼主 找到了吗 同问。。
后悔昨天不如奋斗今天!
2楼2012-08-18 09:03:25
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vancyamy

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 傻静静 at 2012-08-18 09:03:25
楼主 找到了吗 同问。。

木有啊  貌似大家觉得这个太简单了  你也在做???
3楼2012-08-18 10:44:06
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傻静静

金虫 (著名写手)

快乐家族--傻静静

引用回帖:
3楼: Originally posted by vancyamy at 2012-08-18 10:44:06
木有啊  貌似大家觉得这个太简单了  你也在做???...

什么太简单了?我怎么感觉这么危险?我想用CVD方法沉积硅,可是硅烷不好买,不知道在哪里买,还有有点危险吧。。。所以想换一种东西替换一下 呵呵
后悔昨天不如奋斗今天!
4楼2012-08-18 13:34:56
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