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CVD法 。。液体前驱物
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| 求问一个关于CVD的试验。。 采用鼓泡法把液体前驱物带(如四氯化硅)进管式炉的时候,液体的加热温度(水浴温度)应该为多少度呢? 是液体的沸点温度么? 那么通过鼓泡后 载气带出来的反应气体的浓度又怎么确定呢? 求CVD高手指点。。谢谢!!! |
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8楼2013-11-20 06:02:14
傻静静
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2楼2012-08-18 09:03:25
3楼2012-08-18 10:44:06
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4楼2012-08-18 13:34:56













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