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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » CVD法 。。液体前驱物
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vancyamy

银虫 (小有名气)

[求助] CVD法 。。液体前驱物

求问一个关于CVD的试验。。  采用鼓泡法把液体前驱物带（如四氯化硅）进管式炉的时候，液体的加热温度（水浴温度）应该为多少度呢？ 是液体的沸点温度么？  那么通过鼓泡后 载气带出来的反应气体的浓度又怎么确定呢？ 求CVD高手指点。。谢谢！！！
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1楼2012-05-09 14:46:10
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vancyamy

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 傻静静 at 2012-08-18 09:03:25
楼主 找到了吗 同问。。

木有啊  貌似大家觉得这个太简单了  你也在做？？？
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3楼2012-08-18 10:44:06
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vancyamy

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 傻静静 at 2012-08-18 13:34:56
什么太简单了？我怎么感觉这么危险？我想用CVD方法沉积硅，可是硅烷不好买，不知道在哪里买，还有有点危险吧。。。所以想换一种东西替换一下 呵呵...

硅烷 应该好买到吧。。。网上搜啊。。 我用的是四氯化硅
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5楼2012-08-19 14:30:18
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vancyamy

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 丛林鸟 at 2013-06-17 13:41:06
请问楼主用SiCl4沉积什么呢？？？

沉积 Si 啊。。。。
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8楼2013-11-20 06:02:14
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