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CVD法 。。液体前驱物
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| 求问一个关于CVD的试验。。 采用鼓泡法把液体前驱物带（如四氯化硅）进管式炉的时候，液体的加热温度（水浴温度）应该为多少度呢？ 是液体的沸点温度么？ 那么通过鼓泡后 载气带出来的反应气体的浓度又怎么确定呢？ 求CVD高手指点。。谢谢！！！ |
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