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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

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[求助] 求助紧急求助硝酸和光刻胶反应

最近做光刻用光刻胶做掩膜硝酸加氢氟酸腐蚀Si 发现硝酸会跟光刻胶反应生成一种跟衬底粘着很牢固的东西用什么方法都去不掉怎么解决请哪位高手指教

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Youjustfocus

1楼2012-05-07 12:48:32

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

阮涛SJTU

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

1楼: Originally posted by 幸福少爷 at 2012-05-07 12:48:32
最近做光刻用光刻胶做掩膜硝酸加氢氟酸腐蚀Si 发现硝酸会跟光刻胶反应生成一种跟衬底粘着很牢固的东西用什么方法都去不掉怎么解决请哪位高手指教

楼主解决了嘛，求交流

发自小木虫Android客户端

2楼2020-07-26 17:25:31

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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