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幸福少爷铁杆木虫 (著名写手)
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[求助]
求助 紧急求助 硝酸和光刻胶反应
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| 最近做光刻 用光刻胶做掩膜 硝酸加氢氟酸腐蚀Si 发现硝酸会跟光刻胶反应 生成一种跟衬底粘着很牢固的东西 用什么方法都去不掉 怎么解决 请哪位高手指教 |
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阮涛SJTU
新虫 (初入文坛)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2020-07-26 17:25:31