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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 求助 紧急求助 硝酸和光刻胶反应

最近做光刻   用光刻胶做掩膜  硝酸加氢氟酸腐蚀Si   发现硝酸会跟光刻胶反应  生成一种跟衬底粘着很牢固的东西  用什么方法都去不掉   怎么解决   请哪位高手指教
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阮涛SJTU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
1楼: Originally posted by 幸福少爷 at 2012-05-07 12:48:32
最近做光刻   用光刻胶做掩膜  硝酸加氢氟酸腐蚀Si   发现硝酸会跟光刻胶反应  生成一种跟衬底粘着很牢固的东西  用什么方法都去不掉   怎么解决   请哪位高手指教

楼主解决了嘛,求交流

发自小木虫Android客户端
2楼2020-07-26 17:25:31
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