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至尊木虫 (著名写手)

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[求助] 扫描电镜中成分分析叫EDS还是 EDX

本人新手，向大家咨询一下，扫描电镜中成分分析面扫描叫EDS还是EDX啊？还有打点测成分分析也是叫EDS么？以及面分布叫什么啊？都是叫EDS么？本人新手啊，看到师兄们写的EDS，而在老师的文章中写的是EDX，请高手指点

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1楼 2012-05-05 17:15:29

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毛猴

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【答案】应助回帖

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zhyq8767: 金币+1, 感谢交流 2012-05-05 19:36:07

EDS（Energy Dispersive Spectrometer（能量色散谱仪））是能谱仪，是电子探针的一种，主要用于材料微区成分分析。
它的工作方式有定点分析、线分析、面分析三种。

EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer（能量色散X射线荧光光谱仪）

这两个是不同的概念。