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XRD没什么峰
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zhameng07
铜虫
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专业: 无机非金属类光电信息与功
[
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]
XRD没什么峰
已有1人参与
我用磁控溅射制备的的PST薄膜成膜质量很好,但经测试没电容,物相竟成了下面这个样子,
;高手请帮忙分析下原因,会是陶瓷靶材没烧好的原因吗?
PST薄膜
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1楼
2012-04-27 16:04:02
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zwl2006141
铁杆木虫
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专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
几个原因吧:
1、靶材没有做好
2、沉积的膜太薄了
3、XRD测试问题(可能性不大)
建议:
1、做靶材的测试(如果做过了算我没说
)
2、确认靶材没问题,建议延长沉积时间\加快沉积速度
3、重测XRD
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(1人)
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什么都去想一点,生活更精彩一点……
9楼
2012-05-07 08:55:56
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philipzm
木虫
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性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
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zhangquan8385: 金币+1, 鼓励
2012-04-30 08:07:49
不是有两个衍射峰吗?你的陶瓷薄膜中可能出现了织构。这也是可能了。作一下SEM看横截面就清楚了。
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2楼
2012-04-29 09:17:20
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super_zu
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帖子: 626
在线: 183.5小时
虫号: 835565
注册: 2009-08-28
专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★
感谢参与,应助指数 +1
zhangquan8385: 金币+1, 鼓励
2012-04-30 08:08:00
先检测漏电性,漏电性太大,没法测
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3楼
2012-04-30 01:29:58
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zhameng07
铜虫
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专业: 无机非金属类光电信息与功
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2楼
:
Originally posted by
philipzm
at 2012-04-29 09:17:20:
不是有两个衍射峰吗?你的陶瓷薄膜中可能出现了织构。这也是可能了。作一下SEM看横截面就清楚了。
你说的是择优取向吗?
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4楼
2012-04-30 16:30:12
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