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zhameng07

铜虫 (初入文坛)

[求助] XRD没什么峰 已有1人参与

我用磁控溅射制备的的PST薄膜成膜质量很好，但经测试没电容，物相竟成了下面这个样子，；高手请帮忙分析下原因，会是陶瓷靶材没烧好的原因吗？

PST薄膜
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1楼 2012-04-27 16:04:02
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zwl2006141

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
几个原因吧：
1、靶材没有做好
2、沉积的膜太薄了
3、XRD测试问题(可能性不大)
建议：
1、做靶材的测试(如果做过了算我没说)
2、确认靶材没问题，建议延长沉积时间\加快沉积速度
3、重测XRD
赞一下(1人) 回复此楼
什么都去想一点，生活更精彩一点……
9楼2012-05-07 08:55:56
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philipzm

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhangquan8385: 金币+1, 鼓励 2012-04-30 08:07:49
不是有两个衍射峰吗？你的陶瓷薄膜中可能出现了织构。这也是可能了。作一下SEM看横截面就清楚了。
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2楼2012-04-29 09:17:20
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super_zu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhangquan8385: 金币+1, 鼓励 2012-04-30 08:08:00
先检测漏电性，漏电性太大，没法测
赞一下 回复此楼
3楼2012-04-30 01:29:58
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by philipzm at 2012-04-29 09:17:20:
不是有两个衍射峰吗？你的陶瓷薄膜中可能出现了织构。这也是可能了。作一下SEM看横截面就清楚了。

你说的是择优取向吗？
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学习交流
4楼2012-04-30 16:30:12
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