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zhameng07

铜虫 (初入文坛)

[求助] XRD没什么峰 已有1人参与

我用磁控溅射制备的的PST薄膜成膜质量很好，但经测试没电容，物相竟成了下面这个样子，；高手请帮忙分析下原因，会是陶瓷靶材没烧好的原因吗？

PST薄膜
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磁控溅射靶材资料大全

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1楼 2012-04-27 16:04:02
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

chinaworm

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
dengwei_19: 金币+1, 专家考核, 详细！ 2012-05-03 11:09:42
应该是没有择优取向
要么是薄膜太薄，只有PT峰
要么是你的陶瓷根本就没合成陶瓷薄膜
测出来的是非晶体
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Tomorrow is tomorrow
5楼2012-05-03 08:50:27
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zwl2006141

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
几个原因吧：
1、靶材没有做好
2、沉积的膜太薄了
3、XRD测试问题(可能性不大)
建议：
1、做靶材的测试(如果做过了算我没说)
2、确认靶材没问题，建议延长沉积时间\加快沉积速度
3、重测XRD
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什么都去想一点，生活更精彩一点……
9楼2012-05-07 08:55:56
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普通回帖

philipzm

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhangquan8385: 金币+1, 鼓励 2012-04-30 08:07:49
不是有两个衍射峰吗？你的陶瓷薄膜中可能出现了织构。这也是可能了。作一下SEM看横截面就清楚了。
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2楼2012-04-29 09:17:20
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super_zu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhangquan8385: 金币+1, 鼓励 2012-04-30 08:08:00
先检测漏电性，漏电性太大，没法测
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3楼2012-04-30 01:29:58
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by philipzm at 2012-04-29 09:17:20:
不是有两个衍射峰吗？你的陶瓷薄膜中可能出现了织构。这也是可能了。作一下SEM看横截面就清楚了。

你说的是择优取向吗？
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4楼2012-04-30 16:30:12
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chinaworm at 2012-05-03 08:50:27:
应该是没有择优取向
要么是薄膜太薄，只有PT峰
要么是你的陶瓷根本就没合成陶瓷薄膜
测出来的是非晶体

有道理，你说的PT峰指的是PbTiO3？
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6楼2012-05-04 12:10:25
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhangquan8385: 金币+1, 鼓励 2012-05-06 08:36:39
也许是没有结晶，延长时间，提高温度都是解决途径
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麦麦爸爸爱小牛
7楼2012-05-05 23:55:12
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
晕，，一个是Pt电极，一个是Si，没有膜峰
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8楼2012-05-06 18:49:54
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by zwl2006141 at 2012-05-07 08:55:56:
几个原因吧：
1、靶材没有做好
2、沉积的膜太薄了
3、XRD测试问题(可能性不大)
建议：
1、做靶材的测试(如果做过了算我没说)
2、确认靶材没问题，建议延长沉积时间\加快沉积速度
3、重测XRD

谢谢你的建议，我去测下靶材成分。
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10楼2012-05-07 10:39:41
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