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guochou

银虫 (小有名气)

[求助] MEMS工艺类文章投稿求助

求助:
一篇关于DRIE工艺制作高深宽比结构的文章《Fabrication of Micro-trenches Structure with High Aspect Ratio based on DRIE process for MEMS Devices application 》,该投什么样的SCI期刊审稿周期比较快又比较好中?影响因子在2以上的。谢谢!
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guochou

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by haerbin06 at 2012-04-26 11:35:52:
硅,,,,太基本的了,,,bosch工艺?

对,bosch工艺。是挺基础的,不过我查阅了,我的内容现在还没有人写过的。呵呵
7楼2012-04-27 08:39:05
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haerbin06

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
guochou: 金币+1, 有帮助 2012-04-25 22:08:15
看你刻蚀什么材料了,,,,,,要是普通的材料的话,,,,2以上的我觉得够呛啊....
我很好
2楼2012-04-25 15:56:15
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hls85915

荣誉版主 (文坛精英)

科研工具版——沙漠之胡

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
guochou: 金币+8, ★★★很有帮助, 有帮助 2012-04-25 22:07:27
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS  37 22677
0947-8396 APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING  23 9041
0042-207X VACUUM  13 3498
1842-6573 OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS  13 2219
1754-5692 ENERGY & ENVIRONMENTAL SCIENCE  26 14855
0002-7820 JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY  25 6911
1528-7483 CRYSTAL GROWTH & DESIGN  19 5846
1062-7995 PROGRESS IN PHOTOVOLTAICS  7 894
0254-0584 MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS  58 23668
0022-4596 JOURNAL OF SOLID STATE CHEMISTRY  29 14788
0040-6090 THIN SOLID FILMS
哈哈
3楼2012-04-25 16:49:25
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guochou

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by hls85915 at 2012-04-25 16:49:25:
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS  37 22677
0947-8396 APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING  23 9041
0042-207X VACUUM  13 3498
1842-6573 OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID C ...

谢谢啦。呵呵,那么多。我该好好看看。真的很感谢!
4楼2012-04-25 22:07:51
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