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- SEPI: 1
- Ó¦Öú: 4716 (¸±½ÌÊÚ)
- ¹ó±ö: 5.06
- ½ð±Ò: 58801.2
- É¢½ð: 11484
- ºì»¨: 203
- ɳ·¢: 56
- Ìû×Ó: 32316
- ÔÚÏß: 1824Сʱ
- ³æºÅ: 1080748
- ×¢²á: 2010-08-24
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: ±¬Õ¨Óë³å»÷¶¯Á¦Ñ§
- ¹ÜϽ: ¿ÆÑй¤¾ß
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JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 37 22677 0947-8396 APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING 23 9041 0042-207X VACUUM 13 3498 1842-6573 OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS 13 2219 1754-5692 ENERGY & ENVIRONMENTAL SCIENCE 26 14855 0002-7820 JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY 25 6911 1528-7483 CRYSTAL GROWTH & DESIGN 19 5846 1062-7995 PROGRESS IN PHOTOVOLTAICS 7 894 0254-0584 MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS 58 23668 0022-4596 JOURNAL OF SOLID STATE CHEMISTRY 29 14788 0040-6090 THIN SOLID FILMS |

3Â¥2012-04-25 16:49:25
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- Ó¦Öú: 8 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 148.9
- É¢½ð: 3
- ºì»¨: 1
- Ìû×Ó: 128
- ÔÚÏß: 512.9Сʱ
- ³æºÅ: 974142
- ×¢²á: 2010-03-17
- ÐÔ±ð: GG
- רҵ: ΢/ÄÉ»úеϵͳ

2Â¥2012-04-25 15:56:15
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Òø³æ (СÓÐÃûÆø)
- Ó¦Öú: 2 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 132
- É¢½ð: 21
- Ìû×Ó: 136
- ÔÚÏß: 21.4Сʱ
- ³æºÅ: 1325913
- ×¢²á: 2011-06-18
- רҵ: °ëµ¼Ìå¾§ÌåÓ뱡Ĥ²ÄÁÏ
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Òø³æ (СÓÐÃûÆø)
- Ó¦Öú: 2 (Ó×¶ùÔ°)
- ½ð±Ò: 132
- É¢½ð: 21
- Ìû×Ó: 136
- ÔÚÏß: 21.4Сʱ
- ³æºÅ: 1325913
- ×¢²á: 2011-06-18
- רҵ: °ëµ¼Ìå¾§ÌåÓ뱡Ĥ²ÄÁÏ
5Â¥2012-04-25 22:08:36













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