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guochou

银虫 (小有名气)

[求助] MEMS工艺类文章投稿求助

求助：
一篇关于DRIE工艺制作高深宽比结构的文章《Fabrication of Micro-trenches Structure with High Aspect Ratio based on DRIE process for MEMS Devices application 》，该投什么样的SCI期刊审稿周期比较快又比较好中？影响因子在2以上的。谢谢！
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1楼 2012-04-25 15:52:14
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haerbin06

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by guochou at 2012-04-25 22:08:36:
刻蚀材料是硅。很难吗？

硅，，，，太基本的了，，，bosch工艺？
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我很好
6楼2012-04-26 11:35:52
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haerbin06

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
guochou: 金币+1, ★有帮助 2012-04-25 22:08:15
看你刻蚀什么材料了,,,,,,要是普通的材料的话,,,,2以上的我觉得够呛啊....
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我很好
2楼2012-04-25 15:56:15
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hls85915

荣誉版主 (文坛精英)

科研工具版——沙漠之胡

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
guochou: 金币+8, ★★★很有帮助, 有帮助 2012-04-25 22:07:27
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS  37 22677
0947-8396 APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING  23 9041
0042-207X VACUUM  13 3498
1842-6573 OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS  13 2219
1754-5692 ENERGY & ENVIRONMENTAL SCIENCE  26 14855
0002-7820 JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY  25 6911
1528-7483 CRYSTAL GROWTH & DESIGN  19 5846
1062-7995 PROGRESS IN PHOTOVOLTAICS  7 894
0254-0584 MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS  58 23668
0022-4596 JOURNAL OF SOLID STATE CHEMISTRY  29 14788
0040-6090 THIN SOLID FILMS
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哈哈
3楼2012-04-25 16:49:25
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guochou

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hls85915 at 2012-04-25 16:49:25:
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS  37 22677
0947-8396 APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING  23 9041
0042-207X VACUUM  13 3498
1842-6573 OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID C ...

谢谢啦。呵呵，那么多。我该好好看看。真的很感谢！
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4楼2012-04-25 22:07:51
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