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zhangfengxmu

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 超薄薄膜(10nm)的晶体结构检测

请问对于10nm以下的薄膜的晶体结构检测,用什么方法比较好,国内哪个学校做这个比较好!
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super_zu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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zhangfengxmu: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-04-30 16:39:08
这个10nm应该是coms或者dram的applications。
用GIXRD吧,很方便的。角度射成1度就好了。beam size 1cm*0.1就好了。
没有GIXRD,拉曼光谱也可以。
也可以用EXAFS或者FTIR。
当然了,如果有条件TEM最直观。
3楼2012-04-29 14:02:05
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super_zu

金虫 (正式写手)

这个10nm应该是coms或者dram的applications。
用GIXRD吧,很方便的。角度射成1度就好了。beam size 1cm*0.1就好了。
没有GIXRD,拉曼光谱也可以。
也可以用EXAFS或者FTIR。
当然了,如果有条件TEM最直观。
2楼2012-04-29 14:01:35
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