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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 超薄薄膜（10nm）的晶体结构检测
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zhangfengxmu

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 超薄薄膜（10nm）的晶体结构检测

请问对于10nm以下的薄膜的晶体结构检测，用什么方法比较好，国内哪个学校做这个比较好！
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1楼 2012-04-24 10:40:42
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super_zu

金虫 (正式写手)
这个10nm应该是coms或者dram的applications。
用GIXRD吧，很方便的。角度射成1度就好了。beam size 1cm*0.1就好了。
没有GIXRD，拉曼光谱也可以。
也可以用EXAFS或者FTIR。
当然了，如果有条件TEM最直观。
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2楼2012-04-29 14:01:35
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super_zu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhangfengxmu: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-04-30 16:39:08
这个10nm应该是coms或者dram的applications。
用GIXRD吧，很方便的。角度射成1度就好了。beam size 1cm*0.1就好了。
没有GIXRD，拉曼光谱也可以。
也可以用EXAFS或者FTIR。
当然了，如果有条件TEM最直观。
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3楼2012-04-29 14:02:05
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