24小时热门版块排行榜    

查看: 360  |  回复: 2

zhangfengxmu

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 超薄薄膜(10nm)的晶体结构检测

请问对于10nm以下的薄膜的晶体结构检测,用什么方法比较好,国内哪个学校做这个比较好!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

super_zu

金虫 (正式写手)

这个10nm应该是coms或者dram的applications。
用GIXRD吧,很方便的。角度射成1度就好了。beam size 1cm*0.1就好了。
没有GIXRD,拉曼光谱也可以。
也可以用EXAFS或者FTIR。
当然了,如果有条件TEM最直观。
2楼2012-04-29 14:01:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

super_zu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhangfengxmu: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2012-04-30 16:39:08
这个10nm应该是coms或者dram的applications。
用GIXRD吧,很方便的。角度射成1度就好了。beam size 1cm*0.1就好了。
没有GIXRD,拉曼光谱也可以。
也可以用EXAFS或者FTIR。
当然了,如果有条件TEM最直观。
3楼2012-04-29 14:02:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zhangfengxmu 的主题更新
信息提示
请填处理意见