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ll64714014

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于MOCVD设备的,大家来讨论下

外延片300余万片/年,需要多少台MOCVD设备才能完成,
MOCVD是45片机,AIX或是Veeco的,按全年满负荷生产,
大家帮个忙谢谢啦
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中国之源,世界的MO源专家
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cdutstar

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
要看每45片的程序运行时间
按所有维护除外每机台2.5RUN计算
即每天45*2.5
每年就是365*45*2.5
剩下的,你会算咯……
当然这只是个概数,还要考虑很多其他因素!
前进前进前进……
4楼2012-05-03 11:32:53
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tsoptic

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这和生长的材料、结构有关,生长不同的材料和结构,其时间是不同的。时间知道了,需要多少设备也就知道了。所以核心的问题是生产一炉需要多长时间。
5楼2012-05-18 21:59:57
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