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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 前沿热点 » 关于MOCVD设备的，大家来讨论下
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ll64714014

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于MOCVD设备的，大家来讨论下

外延片300余万片/年，需要多少台MOCVD设备才能完成，
MOCVD是45片机，AIX或是Veeco的，按全年满负荷生产，
大家帮个忙谢谢啦
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中国之源，世界的MO源专家
1楼 2012-04-21 18:44:42
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ll64714014

铜虫 (初入文坛)
没人，郁闷了
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中国之源，世界的MO源专家
2楼2012-04-25 22:13:40
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super_zu

金虫 (正式写手)
内容已删除
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3楼2012-04-26 04:10:21
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cdutstar

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
要看每45片的程序运行时间
按所有维护除外每机台2.5RUN计算
即每天45*2.5
每年就是365*45*2.5
剩下的，你会算咯……
当然这只是个概数，还要考虑很多其他因素！
赞一下 回复此楼
前进前进前进……
4楼2012-05-03 11:32:53
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tsoptic

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这和生长的材料、结构有关，生长不同的材料和结构，其时间是不同的。时间知道了，需要多少设备也就知道了。所以核心的问题是生产一炉需要多长时间。
赞一下 回复此楼
5楼2012-05-18 21:59:57
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