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foreverwdp

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[求助] 脉冲激光加工中的热膨胀和热应力

各位大侠：

小弟是一名硕士生，有一个问题还想请教大家！

纳秒激光器，激光光斑几个um，功率密度大约为10八次幂每平方厘米。我在

单脉冲刻蚀硅还有一些金属时，发现被光照射部分是凸出的，而不是刻蚀进去的，为

什么？这是一种受热膨胀吗？这个过程中什么力起主要作用？

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1楼 2012-04-21 12:42:06

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187321874

木虫 (知名作家)

小木虫Ocean家族族长--阿蒙

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【答案】应助回帖

★ ★
foreverwdp: 金币+2, ★★★★★最佳答案 2012-06-12 18:17:40

如果达不到熔点的话，那就是膨胀。你用的是什么激光？二氧化碳，还是半导体，蚀刻什么金属？

十二点之前是天堂，十二点之后是地狱！！！

2楼2012-05-29 09:15:02

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foreverwdp

新虫 (初入文坛)

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3楼2012-05-30 10:36:00

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zisusu1234

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您好，我也有类似的问题，请问您是否知道为什么？

4楼2017-08-01 10:42:20

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