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脉冲激光加工中的热膨胀和热应力
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各位大侠： 小弟是一名硕士生，有一个问题还想请教大家！ 纳秒激光器，激光光斑几个um，功率密度大约为10八次幂每平方厘米。我在 单脉冲刻蚀硅还有一些金属时，发现被光照射部分是凸出的，而不是刻蚀进去的，为 什么？这是一种受热膨胀吗？这个过程中什么力起主要作用？ |
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