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光刻掩模版 已有2人参与
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请教下，光刻时掩模版上的掩模层一般为什么呢？ 我在石英基板上沉积的Ag掩模层，在显微镜下发现有微孔。 此外，直接用铁板掩模行不行，就是需要掩模的那个位置有铁板，其他地方为空。 |
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2楼2012-04-16 21:08:20
3楼2012-04-16 21:49:12
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给你个mask的资料，我们用的是铬板。 |
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2012-04-19 11:39:24, 205.29 K
6楼2012-04-19 11:39:40