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zhurl123

新虫 (正式写手)

[交流] 光刻掩模版 已有2人参与

请教下，光刻时掩模版上的掩模层一般为什么呢？

我在石英基板上沉积的Ag掩模层，在显微镜下发现有微孔。

此外，直接用铁板掩模行不行，就是需要掩模的那个位置有铁板，其他地方为空。
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1楼 2012-04-16 15:44:55
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爱惜花草

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 07:36:06
是的，大部分用铬板，mask可以找专门的厂家订做，你用CAD画好pattern。
赞一下 回复此楼
一步一步去实现自己的目标，不要让自己成为自己的绊脚石，克制自己！
4楼2012-04-18 23:53:04
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nlw175

金虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-16 22:19:09
我做过掩膜板，在网上找一家加工公司，使用的是玻璃镀铬，可以根据需要做任意图形。
赞一下 回复此楼
2楼2012-04-16 21:08:20
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zhurl123

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2012-04-18 23:53:04:
是的，大部分用铬板，mask可以找专门的厂家订做，你用CAD画好pattern。

我用的是石英玻璃  然后上面镀Ag，在显微镜下看不致密，刻出来的性质上有小洞洞
赞一下 回复此楼
5楼2012-04-19 08:38:05
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爱惜花草

木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhurl123 at 2012-04-19 08:38:05:
我用的是石英玻璃  然后上面镀Ag，在显微镜下看不致密，刻出来的性质上有小洞洞

给你个mask的资料，我们用的是铬板。
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  • 附件 1 : 光掩膜版知识介绍.pdf
    • 2012-04-19 11:39:24, 205.29 K
一步一步去实现自己的目标，不要让自己成为自己的绊脚石，克制自己！
6楼2012-04-19 11:39:40
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