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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zhurl123

新虫 (正式写手)

[交流] 光刻掩模版 已有2人参与

请教下,光刻时掩模版上的掩模层一般为什么呢?

我在石英基板上沉积的Ag掩模层,在显微镜下发现有微孔。

此外,直接用铁板掩模行不行,就是需要掩模的那个位置有铁板,其他地方为空。
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nlw175

金虫 (正式写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 感谢回帖 2012-04-16 22:19:09
我做过掩膜板,在网上找一家加工公司,使用的是玻璃镀铬,可以根据需要做任意图形。
2楼2012-04-16 21:08:20
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zhurl123

新虫 (正式写手)

谢谢楼上的哥们
3楼2012-04-16 21:49:12
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爱惜花草

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 07:36:06
是的,大部分用铬板,mask可以找专门的厂家订做,你用CAD画好pattern。
一步一步去实现自己的目标,不要让自己成为自己的绊脚石,克制自己!
4楼2012-04-18 23:53:04
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zhurl123

新虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2012-04-18 23:53:04:
是的,大部分用铬板,mask可以找专门的厂家订做,你用CAD画好pattern。

我用的是石英玻璃  然后上面镀Ag,在显微镜下看不致密,刻出来的性质上有小洞洞
5楼2012-04-19 08:38:05
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爱惜花草

木虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zhurl123 at 2012-04-19 08:38:05:
我用的是石英玻璃  然后上面镀Ag,在显微镜下看不致密,刻出来的性质上有小洞洞

给你个mask的资料,我们用的是铬板。

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  • 附件 1 : 光掩膜版知识介绍.pdf
  • 2012-04-19 11:39:24, 205.29 K
一步一步去实现自己的目标,不要让自己成为自己的绊脚石,克制自己!
6楼2012-04-19 11:39:40
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