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Ge/ SiO2 薄膜退火处理
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Ge/ SiO2 薄膜采用管式炉退火处理后,薄膜消失,不知道是什么原因呢? 在Ar气的保护下退火,退火温度600~1000. 不知道是管式炉真空度不够还是别的什么原因呢? 各位大侠帮帮忙分析下吧,急死了。(磁控溅射制备的薄膜,玻璃基片) |
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