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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助ALD生长HfO2出现的问题
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匿名

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1楼 2012-04-11 18:02:27
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ensureald

铁虫 (初入文坛)
白色粉末的出现，说明你的试验没有实现ALD生长
一种原因是发生了CVD效应，也有可能是你的沉积温度过高，前趋体分解了吧！不清楚你用的是哪家的设备，有些设备沉积也略有区别，我们完全可以实现HfO2的沉积，有问题可以多交流！
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yzdelei
2楼2012-04-26 09:42:40
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