【答案】应助回帖

11楼2012-04-16 16:22:37

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Mike_Fu

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【答案】应助回帖

第一，氧分压是决定薄膜透过的一个重要因素，你可以把氧分压拉开几个条件，对比一下透过率变化的趋势。用400-800nm的平均值作为参考。
第二，厚度的话在200-400nm间也做一下，因为我每次做出来的样品厚度都不一样，可能相差在几十纳米的样子。

人生没有捷径

12楼2012-04-17 09:07:34

minmin123

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4楼: Originally posted by Mike_Fu at 2012-04-16 08:58:35
本人在实验室就是做ITO的，我做出来的ITO方块电阻在10左右。
这个问题你可以从几个方面入手：
1、靶材（很重要），确定靶材的成分，从购买靶材的人那里应该有。
2、溅射参数的选择，首先是功率，气压，氧气 ...

请问靶材都需要什么条件？我镀出来的ITO电阻也超大。
我买的ITO靶材 In2o3是含量balance，SnO2含量是9.98%，纯度>4N，相对密度>99.0%。请问这个靶材可以吗？谢谢

13楼2012-11-06 10:23:47

漂不是目的

新虫 (初入文坛)

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请问楼主的ITO用在哪个方面的

14楼2013-02-19 16:40:31

kevin123581

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10楼: Originally posted by Mike_Fu at 2012-04-16 14:23:29
做出来的薄膜是透明的，没有颜色。在400~800nm波段的透过在85左右（算上玻璃衬底）。制备温度的话，我这边实验设备加热板最高温度只有300C，所以就不好回答你了。据文献上讲应该在400C左右，如果你实验条件允许的话 ...

请问一下，我最近也在做ITO薄膜，但是用的激光沉积，做出来的薄膜都带一点棕色的颜色，而不是全透明的，衬底有加热，应该不是温度问题。是氧压的问题么？我没有单独通氧气，而是直接抽到一定的低真空度开始做的，应该在0.006Torr左右
透射曲线400-1000的话，越接近400透射越低，有的都到60%了，离90%貌似差了好大一截。谢谢

15楼2016-03-10 14:06:49

kevin123581

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11楼: Originally posted by mp3gs at 2012-04-16 16:22:37
谢谢，还有两个问题请教下
1，我做得ITO看上去有点颜色（黄色还是褐色吧，很浅），不知道是不是氧气少了；
2，不知道你的薄膜多厚才能达到方块电阻10左右啊

自制的磁控溅射效果不太好，还请你再指点下谢谢...

您好，我的薄膜也是带一点黄色~~~我没单独通氧气，直接用的低真空度做的。透射率不是很高，貌似。请问你问题解决了么

16楼2016-03-10 14:08:09

lzy842769

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楼主的问题解决了么？我现在也遇到了同样的问题，薄膜的电阻太大了，根本就不导电。能指导一下么？是靶材不行？氧分压？基底温度或者是其他可能的问题。

17楼2016-06-26 11:32:59