应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 如何将ITO薄膜方块电阻做小啊？？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
172/2返回列表上一页12
查看: 2751  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

匿名

本帖仅楼主可见
赞一下
11楼2012-04-16 16:22:37
已阅   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖

第一，氧分压是决定薄膜透过的一个重要因素，你可以把氧分压拉开几个条件，对比一下透过率变化的趋势。用400-800nm的平均值作为参考。
      第二，厚度的话在200-400nm间也做一下，因为我每次做出来的样品厚度都不一样，可能相差在几十纳米的样子。
赞一下 回复此楼
人生没有捷径
12楼2012-04-17 09:07:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

minmin123

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Mike_Fu at 2012-04-16 08:58:35
本人在实验室就是做ITO的，我做出来的ITO方块电阻在10左右。
      这个问题你可以从几个方面入手：
1、靶材（很重要），确定靶材的成分，从购买靶材的人那里应该有。
2、溅射参数的选择，首先是功率，气压，氧气 ...

请问靶材都需要什么条件？我镀出来的ITO电阻也超大。
我买的ITO靶材 In2o3是含量balance，SnO2含量是9.98%，纯度>4N，相对密度>99.0%。 请问这个靶材可以吗？谢谢
赞一下 回复此楼
13楼2012-11-06 10:23:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

漂不是目的

新虫 (初入文坛)
请问楼主的ITO用在哪个方面的
赞一下 回复此楼
14楼2013-02-19 16:40:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by Mike_Fu at 2012-04-16 14:23:29
做出来的薄膜是透明的，没有颜色。在400~800nm波段的透过在85左右（算上玻璃衬底）。制备温度的话，我这边实验设备加热板最高温度只有300C，所以就不好回答你了。据文献上讲应该在400C左右，如果你实验条件允许的话 ...

请问一下，我最近也在做ITO薄膜，但是用的激光沉积，做出来的薄膜都带一点棕色的颜色，而不是全透明的，衬底有加热，应该不是温度问题。是氧压的问题么？我没有单独通氧气，而是直接抽到一定的低真空度开始做的，应该在0.006Torr左右
透射曲线400-1000的话，越接近400透射越低，有的都到60%了，离90%貌似差了好大一截。谢谢
赞一下 回复此楼
15楼2016-03-10 14:06:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by mp3gs at 2012-04-16 16:22:37
谢谢，还有两个问题请教下
1，我做得ITO看上去有点颜色（黄色还是褐色吧，很浅），不知道是不是氧气少了；
2，不知道你的薄膜多厚才能达到方块电阻10左右啊

自制的磁控溅射效果不太好，还请你再指点下谢谢...

您好，我的薄膜也是带一点黄色~~~我没单独通氧气，直接用的低真空度做的。透射率不是很高，貌似。请问你问题解决了么
赞一下 回复此楼
16楼2016-03-10 14:08:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzy842769

新虫 (初入文坛)
楼主的问题解决了么？我现在也遇到了同样的问题，薄膜的电阻太大了，根本就不导电。能指导一下么？是靶材不行？氧分压？基底温度或者是其他可能的问题。
赞一下 回复此楼
17楼2016-06-26 11:32:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mp3gs 的主题更新
172/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 266调剂 +5 daya sun 2026-04-07 6/300 2026-04-08 00:08 by daya sun
[考研] 化工学硕 285求调剂 +23 Wisjxn 2026-04-07 23/1150 2026-04-07 22:55 by JourneyLucky
[考研] 22408 318分求调剂 +4 勤奋的小笼包 2026-04-06 6/300 2026-04-07 15:05 by 纸鹤555
[考研] 材料调剂 +17 小刘同学吖吖 2026-04-06 18/900 2026-04-07 11:41 by 诗与自由
[考研] 一志愿郑州大学085600求调剂 +20 吃的不少 2026-04-05 23/1150 2026-04-07 10:05 by 猪会飞
[考研] 考研调剂 +7 15615482637 2026-04-04 7/350 2026-04-06 22:56 by chenzhimin
[考研] 生物学求调剂 +5 15064154688 2026-04-03 5/250 2026-04-06 11:56 by lijunpoly
[考研] 材料专硕283求调剂 +17 试试看呗 2026-04-04 18/900 2026-04-06 09:24 by 286640313
[考研] 085600，320分求调剂 +16 大馋小子 2026-04-04 17/850 2026-04-06 07:58 by MOF_Catal
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +8 vants 2026-04-05 8/400 2026-04-06 06:17 by houyaoxu
[考研] 调剂 +3 好好读书。 2026-04-02 3/150 2026-04-05 13:02 by arrow8852
[考研] 0854求调剂 +4 assdll 2026-04-03 4/200 2026-04-04 22:17 by hemengdong
[考研] 。 +5 雾与海 2026-04-02 6/300 2026-04-04 19:53 by 蓝云思雨
[考研] 292求调剂 +11 2022080213 2026-04-04 13/650 2026-04-04 18:38 by macy2011
[考研] 化工求调剂 +11 荔香芝士椰奶 2026-04-03 11/550 2026-04-03 22:06 by 啵啵啵0119
[考研] 372分材料与化工（085600）一志愿湖南大学求调剂 +3 蓝笺片 2026-04-03 4/200 2026-04-03 17:58 by Jimmyandyou
[考研] 初试成绩337找调剂 +3 ??? ?. ? 2026-04-03 3/150 2026-04-03 11:43 by 土木硕士招生
[考研] 312 化工或制药调剂 +8 小小墨123 2026-04-02 9/450 2026-04-03 09:12 by zhouxiaoyu
[考研] 求调剂 +7 Aniyaio 2026-04-02 7/350 2026-04-02 16:42 by zzsw+
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-04-02 4/200 2026-04-02 13:03 by yulian1987
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭