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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 如何将ITO薄膜方块电阻做小啊？？
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匿名

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1楼2012-04-10 14:43:54
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by Mike_Fu at 2012-04-16 14:23:29
做出来的薄膜是透明的，没有颜色。在400~800nm波段的透过在85左右（算上玻璃衬底）。制备温度的话，我这边实验设备加热板最高温度只有300C，所以就不好回答你了。据文献上讲应该在400C左右，如果你实验条件允许的话 ...

请问一下，我最近也在做ITO薄膜，但是用的激光沉积，做出来的薄膜都带一点棕色的颜色，而不是全透明的，衬底有加热，应该不是温度问题。是氧压的问题么？我没有单独通氧气，而是直接抽到一定的低真空度开始做的，应该在0.006Torr左右
透射曲线400-1000的话，越接近400透射越低，有的都到60%了，离90%貌似差了好大一截。谢谢
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15楼2016-03-10 14:06:49
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mp3gs: 金币+10, ★有帮助 2012-04-11 18:58:05
本帖内容被屏蔽
2楼2012-04-11 13:20:53
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匿名

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3楼2012-04-11 18:57:52
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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mp3gs: 金币+10, ★有帮助 2012-04-16 12:11:04
mp3gs: 金币+10 2012-04-16 12:15:30
本人在实验室就是做ITO的，我做出来的ITO方块电阻在10左右。
      这个问题你可以从几个方面入手：
1、靶材（很重要），确定靶材的成分，从购买靶材的人那里应该有。
2、溅射参数的选择，首先是功率，气压，氧气含量还有衬底温度。我做的时候因为是ITO陶瓷靶，所以氧气含量会比较低在10%以下。
3、你可以将制备出来的薄膜去做XRD，XPS测试，看里面的成分是不是ITO。
     相信这一套思路能给你帮助。
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人生没有捷径
4楼2012-04-16 08:58:35
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