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匿名

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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖

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mp3gs: 金币+20, ★★★很有帮助 2012-04-16 16:12:17
做出来的薄膜是透明的,没有颜色。在400~800nm波段的透过在85左右(算上玻璃衬底)。制备温度的话,我这边实验设备加热板最高温度只有300C,所以就不好回答你了。据文献上讲应该在400C左右,如果你实验条件允许的话可以把温度拉开多做几个样品比较一下。
人生没有捷径
10楼2012-04-16 14:23:29
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)

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mp3gs: 金币+10, 有帮助 2012-04-11 18:58:05
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2楼2012-04-11 13:20:53
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匿名

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3楼2012-04-11 18:57:52
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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖

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mp3gs: 金币+10, 有帮助 2012-04-16 12:11:04
mp3gs: 金币+10 2012-04-16 12:15:30
本人在实验室就是做ITO的,我做出来的ITO方块电阻在10左右。
      这个问题你可以从几个方面入手:
1、靶材(很重要),确定靶材的成分,从购买靶材的人那里应该有。
2、溅射参数的选择,首先是功率,气压,氧气含量还有衬底温度。我做的时候因为是ITO陶瓷靶,所以氧气含量会比较低在10%以下。
3、你可以将制备出来的薄膜去做XRD,XPS测试,看里面的成分是不是ITO。
     相信这一套思路能给你帮助。
人生没有捷径
4楼2012-04-16 08:58:35
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