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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 如何将ITO薄膜方块电阻做小啊？？
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匿名

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1楼2012-04-10 14:43:54
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by mp3gs at 2012-04-16 16:22:37
谢谢，还有两个问题请教下
1，我做得ITO看上去有点颜色（黄色还是褐色吧，很浅），不知道是不是氧气少了；
2，不知道你的薄膜多厚才能达到方块电阻10左右啊

自制的磁控溅射效果不太好，还请你再指点下谢谢...

您好，我的薄膜也是带一点黄色~~~我没单独通氧气，直接用的低真空度做的。透射率不是很高，貌似。请问你问题解决了么
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16楼2016-03-10 14:08:09
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mp3gs: 金币+10, ★有帮助 2012-04-11 18:58:05
本帖内容被屏蔽
2楼2012-04-11 13:20:53
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匿名

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3楼2012-04-11 18:57:52
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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mp3gs: 金币+10, ★有帮助 2012-04-16 12:11:04
mp3gs: 金币+10 2012-04-16 12:15:30
本人在实验室就是做ITO的，我做出来的ITO方块电阻在10左右。
      这个问题你可以从几个方面入手：
1、靶材（很重要），确定靶材的成分，从购买靶材的人那里应该有。
2、溅射参数的选择，首先是功率，气压，氧气含量还有衬底温度。我做的时候因为是ITO陶瓷靶，所以氧气含量会比较低在10%以下。
3、你可以将制备出来的薄膜去做XRD，XPS测试，看里面的成分是不是ITO。
     相信这一套思路能给你帮助。
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人生没有捷径
4楼2012-04-16 08:58:35
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