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匿名

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匿名

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7楼2012-04-16 12:15:19
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zjuxwy

禁虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
mp3gs: 金币+10, 有帮助 2012-04-11 18:58:05
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2楼2012-04-11 13:20:53
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匿名

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3楼2012-04-11 18:57:52
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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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mp3gs: 金币+10, 有帮助 2012-04-16 12:11:04
mp3gs: 金币+10 2012-04-16 12:15:30
本人在实验室就是做ITO的,我做出来的ITO方块电阻在10左右。
      这个问题你可以从几个方面入手:
1、靶材(很重要),确定靶材的成分,从购买靶材的人那里应该有。
2、溅射参数的选择,首先是功率,气压,氧气含量还有衬底温度。我做的时候因为是ITO陶瓷靶,所以氧气含量会比较低在10%以下。
3、你可以将制备出来的薄膜去做XRD,XPS测试,看里面的成分是不是ITO。
     相信这一套思路能给你帮助。
人生没有捷径
4楼2012-04-16 08:58:35
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