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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 压电材料能做多小，有没有毫米尺度，或更小的压电元器件
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maliang5880

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[求助] 压电材料能做多小，有没有毫米尺度，或更小的压电元器件

Sample TextSample Text，各位大侠，有没有知道压电材料能做多大尺寸的
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热心，好客，好学习
1楼2012-04-10 11:00:54
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xianrenno1

铁杆木虫 (职业作家)
微纳尺度的都做的很好了，看看王中林的
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7楼2012-04-13 13:51:35
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hanty000

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励参与 2012-04-11 07:41:31
貌似厚度一般微米级问题不大，如PZT薄膜材料，一般采用MEMS工艺制作压电器件。
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2楼2012-04-10 19:27:06
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jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
maliang5880: 金币+5, ★有帮助 2012-04-12 10:51:25
看你加工工艺了，如果是减薄工艺，就是研磨，可以做到0.1mm，如厚度剪切振动，频率10MHz，振子尺寸为2.6mm*0.5mm*0.12mm。
如果是加厚工艺，那可以做到更加薄。
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3楼2012-04-11 08:08:51
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liulu008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
很多微电机什么的就很小啊
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5楼2012-04-11 16:53:29
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