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maliang5880

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[求助] 压电材料能做多小,有没有毫米尺度,或更小的压电元器件

Sample TextSample Text,各位大侠,有没有知道压电材料能做多大尺寸的
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陶瓷 备用 铁电/压电材料

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hanty000

新虫 (初入文坛)

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蒋青松: 金币+1, 鼓励参与 2012-04-11 07:41:31
貌似厚度一般微米级问题不大,如PZT薄膜材料,一般采用MEMS工艺制作压电器件。
2楼2012-04-10 19:27:06
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jkcls

木虫 (小有名气)

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★ ★ ★ ★ ★
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maliang5880: 金币+5, 有帮助 2012-04-12 10:51:25
看你加工工艺了,如果是减薄工艺,就是研磨,可以做到0.1mm,如厚度剪切振动,频率10MHz,振子尺寸为2.6mm*0.5mm*0.12mm。
如果是加厚工艺,那可以做到更加薄。
3楼2012-04-11 08:08:51
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maliang5880

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4楼2012-04-11 08:20:42
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liulu008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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很多微电机什么的就很小啊
5楼2012-04-11 16:53:29
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maliang5880

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6楼2012-04-11 20:21:55
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xianrenno1

铁杆木虫 (职业作家)

微纳尺度的都做的很好了,看看王中林的
7楼2012-04-13 13:51:35
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