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yelin890219

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助!SiGe缺陷腐蚀

长在SOI上的SiGe,想要用溶液腐蚀法得到缺陷密度,但不知道用什么溶液,求助哪位有经验的前辈给予指点,谢谢!
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