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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 前沿热点 » 有没有办法镀一层5纳米以下的连续的金，或者其他金属的膜
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zhenxiong

铜虫 (著名写手)

[交流] 有没有办法镀一层5纳米以下的连续的金，或者其他金属的膜

有没有办法镀一层5纳米以下的连续的金，或者其他金属的膜
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1楼 2012-03-24 23:02:48
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)
★
zhenxiong(金币+1): 谢谢参与
有真空镀膜机的啊~
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2楼2012-03-25 00:07:31
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zhenxiong

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiejf at 2012-03-25 00:07:31:
有真空镀膜机的啊~

这个镀膜机也没有办法直接镀20纳米以下的 连续膜
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3楼2012-03-25 00:31:43
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halcyon1988

金虫 (小有名气)
★
zhenxiong(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenxiong at 2012-03-25 00:31:43:
这个镀膜机也没有办法直接镀20纳米以下的 连续膜

几个埃都可以，为什麽不能镀20纳米的膜，你说

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2012-03-25 19:02:12
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halcyon1988

金虫 (小有名气)
你说连续的膜什么意思

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2012-03-25 19:04:33
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zhenxiong

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by halcyon1988 at 2012-03-25 19:04:33:
你说连续的膜什么意思

就是完整的膜，不是一片一片的
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7楼2012-03-25 21:07:04
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zhenxiong

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by halcyon1988 at 2012-03-25 19:02:12:
几个埃都可以，为什麽不能镀20纳米的膜，你说

我说连续的，哥哥
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8楼2012-03-25 21:08:09
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大胖虫2011

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个真空镀膜机可以啊，卷绕式的
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9楼2012-03-25 21:21:43
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xiaobo1255

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
做SEM 前用的那个喷金的机器不可以吗？
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10楼2012-03-26 09:11:17
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Fateam

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空蒸镀可以，但是一般来说，金和银相对不容易成膜，铜会好一点。5个纳米应当没有问题，个人蒸镀经验。。
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11楼2012-03-26 09:34:18
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506292034

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
推介你用磁控溅射的技术，我们也做过的
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12楼2012-03-26 12:57:03
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halcyon1988

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by zhenxiong at 2012-03-25 21:07:04:
就是完整的膜，不是一片一片的

没搞懂你说的什么意思，用磁控溅射或者蒸镀镀的膜还能是一片一片的啊。
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13楼2012-03-26 13:24:12
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pwhboy

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你要在什么材料上镀呢？
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14楼2012-03-26 14:56:55
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flyjiang88

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
貌似溅射仪溅射下来的金就是原子级的啊，应该可以吧
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15楼2012-03-26 15:01:38
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weidongya

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
化学镀 或者真空镀膜 试试看吧 关键还是看文献
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16楼2012-03-26 19:16:47
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dazuo523

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个在borrow sers里很常见
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17楼2012-03-26 22:24:42
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t_mac860131

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有一种设备叫做原子层沉积（ALD），你可以问问尝试一下
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18楼2012-03-27 08:38:37
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jinxiyu

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用热蒸发真空镀膜就可以的了。3nm还是不成膜的，5nm就可以成膜的了
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19楼2012-03-27 13:41:55
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linjx404

金虫 (小有名气)
显然 溅射仪
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20楼2012-03-27 15:40:46
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ensureald

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
18楼: Originally posted by t_mac860131 at 2012-03-27 08:38:37:
有一种设备叫做原子层沉积（ALD），你可以问问尝试一下

就目前的技术而言，原子层沉积好像还沉积不了金原子层，或许以后可以吧
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21楼2012-04-23 10:45:48
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foxs2

木虫 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
控制一下蒸镀的速度，5nm勉强可以成膜，厚度增加到10nm就成膜很好了。磁控溅射金属一般15nm左右成膜，介质层10nm就可以。
赵工      15108299816       zyy44138172@126.com
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22楼2012-04-23 10:56:32
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zhenxiong

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by foxs2 at 2012-04-23 10:56:32:
控制一下蒸镀的速度，5nm勉强可以成膜，厚度增加到10nm就成膜很好了。磁控溅射金属一般15nm左右成膜，介质层10nm就可以。
赵工      15108299816       zyy44138172@126.com

谢谢
专业哦
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23楼2012-04-23 15:12:11
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
5nm左右连续的金可以；而银一般不行，连续的银一般要20nm；几埃的连续膜肯定不是真空镀膜形式得到的，或许是外延生长之类了。
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24楼2012-04-23 15:36:38
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
5nm 的金膜， 用磁控溅射 应该可以做出。连续膜估计也没有问题。
通常<1nm 很难成膜， 3-5纳米金属膜 有的可以成连续膜，有的不可以。 （成连续膜是否导电，需要确认），5-8nm 通常可以成连续膜。
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25楼2012-07-05 21:53:40
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yaoyao1456楼
2012-03-25 19:37   回复  
zhenxiong(金币+1): 谢谢参与
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