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pcsmine

木虫 (著名写手)

[求助] AFM图求助

我做了PZT薄膜的AFM，如图，请高手帮我分析一下，那一颗颗的是什么啊，是晶粒么？晶粒有这么大么？一般都是很多突起的颗粒状，这个为什么这么平啊？求解答！金币不是问题。
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1楼 2012-03-19 09:32:38
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
pcsmine: 金币+1, 那你是怎样描述这种形貌的呢？ 2012-03-20 17:53:40
没有裂纹那么严重。不过这种形貌要尽可能避免，毕竟对电学性能如漏电是有负面影响的。我在BiFeO3薄膜中也观察到类似形貌，通常这样的膜漏电要高一些。
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6楼2012-03-20 17:17:44
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jm3068

至尊木虫 (小有名气)

general

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
pcsmine: 金币+1, Si/SiO2/Ti/Pt，溶胶凝胶，Tapping mode 2012-03-20 09:46:26
首先你是在什么基底上做的薄膜，什么方法做的？ 测AFM时用的是Tapping mode吗？   若感觉结果不可信，可测SEM对比一下。
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abc
2楼2012-03-19 21:33:47
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
pcsmine: 金币+1, 那么这一块块的是什么呢，退火温度700度，还要提高么？ 2012-03-20 12:06:47
这种形貌在Sol-Gel-derived 的PZT薄膜中很常见，特征尺寸和晶粒大小关系不大。有机物挥发导致薄膜严重收缩就会看到类似的现象。很平的区域很有可能是(001)取向的小晶粒聚集在一起。提高退火温度后就能看到晶界了。
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3楼2012-03-20 11:22:34
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
pcsmine: 金币+1, 厚度约600nm，为什么可以看到看到类似的形貌？ 2012-03-20 13:13:52
你试过你的PZT薄膜最低的退火温度吗? 如果能在500度晶化，那么700度足够高的了。还有你的膜多厚？如果超过2微米，那么获得500纳米的晶粒就很正常。实际上最直接的方法是看断面SEM来确定是否是一个晶粒。还有一个建议，你在400度以下热处理PZT薄膜，不做高温退火，然后观察表面，相信你会看到类似的形貌。
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4楼2012-03-20 12:58:29
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