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pcsmine

木虫 (著名写手)

[求助] AFM图求助

我做了PZT薄膜的AFM,如图,请高手帮我分析一下,那一颗颗的是什么啊,是晶粒么?晶粒有这么大么?一般都是很多突起的颗粒状,这个为什么这么平啊?求解答!金币不是问题。
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
pcsmine: 金币+1, 那么这一块块的是什么呢,退火温度700度,还要提高么? 2012-03-20 12:06:47
这种形貌在Sol-Gel-derived 的PZT薄膜中很常见,特征尺寸和晶粒大小关系不大。有机物挥发导致薄膜严重收缩就会看到类似的现象。很平的区域很有可能是(001)取向的小晶粒聚集在一起。提高退火温度后就能看到晶界了。
3楼2012-03-20 11:22:34
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


pcsmine: 金币+1, 厚度约600nm,为什么可以看到看到类似的形貌? 2012-03-20 13:13:52
你试过你的PZT薄膜最低的退火温度吗? 如果能在500度晶化,那么700度足够高的了。还有你的膜多厚?如果超过2微米,那么获得500纳米的晶粒就很正常。实际上最直接的方法是看断面SEM来确定是否是一个晶粒。还有一个建议,你在400度以下热处理PZT薄膜,不做高温退火,然后观察表面,相信你会看到类似的形貌。
4楼2012-03-20 12:58:29
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


pcsmine: 金币+1, 你的意思是说 这是裂纹? 2012-03-20 16:20:59
有机物的挥发导致薄膜收缩严重就会导致类似的形貌。所以你在400度以下热处理就很有可能观察到类似的现象。
5楼2012-03-20 13:24:08
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


pcsmine: 金币+1, 那你是怎样描述这种形貌的呢? 2012-03-20 17:53:40
没有裂纹那么严重。不过这种形貌要尽可能避免,毕竟对电学性能如漏电是有负面影响的。我在BiFeO3薄膜中也观察到类似形貌,通常这样的膜漏电要高一些。
6楼2012-03-20 17:17:44
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mse507

木虫 (正式写手)

The film is mainly composed of blocklike regions, which are about 500 -1000 nm in diameter and consist of smaller grains with blurry boundaries.
7楼2012-03-21 08:55:45
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