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[交流]
氢气吃氧的问题
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| 各位好，小虫是做CVD的，腔体有分子泵抽空，但是还是有一些残留氧，想用氢气去除，但是不确定氢气吃氧的温度在多少，大家有没有涉及到类似问题的？交流一下啊！ |
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2楼2012-03-08 12:00:27
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