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氢气吃氧的问题
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sunyong1986
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[交流]
氢气吃氧的问题
各位好,小虫是做CVD的,腔体有分子泵抽空,但是还是有一些残留氧,想用氢气去除,但是不确定氢气吃氧的温度在多少,大家有没有涉及到类似问题的?交流一下啊!
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