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sunyong1986

新虫 (小有名气)


[交流] 氢气吃氧的问题

各位好,小虫是做CVD的,腔体有分子泵抽空,但是还是有一些残留氧,想用氢气去除,但是不确定氢气吃氧的温度在多少,大家有没有涉及到类似问题的?交流一下啊!
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yfeitian

禁虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
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2楼2012-03-08 12:00:27
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