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晶体生长温场
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| 使用坩埚尺寸为Φ70*50mm,平底微凸,采用双层保温罩,内罩高65mm,外罩高100mm,有铱金盖片保温,感应加热线圈,埚位在最上层线圈下6-7mm左右,生长晶体直径30mm,可就是长不长,大概到等径15mm之后就歪掉了,就是有一面长的很突出,另一面就缩进去了,晶体取出后可以看到底部为平底,有点微凹,拉速1mm/h,转速8rpm,求解哪个地方有问题? |
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