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christzgt

新虫 (初入文坛)

[求助] 二氧化硅靶材的制备问题

请问有懂二氧化硅靶材制备的吗?
请问主要的制备方法是什么?粉末冶金还是直接熔炼呢?
如果熔炼是可以的,那为什么还要用粉末冶金方法呢?毕竟熔炼要便宜很多啊!
熔炼有什么不利的方面吗?
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microflow

铁虫 (正式写手)

二氧化硅靶材?
是不可不弘毅,任重而道远;唯汇小流,常年以聚深渊。
2楼2012-04-25 21:24:57
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fjyxf

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

用纯石英物料加工制备一定的规格的靶材。
很多云朵才能造就美丽的黄昏
3楼2012-06-20 11:38:45
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shengquanlin

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

用高纯石英制备,酸洗、氯化等环节
加油
4楼2012-08-15 15:36:43
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