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mseyj

金虫 (小有名气)

[求助] 请教SEM与AFM与FIB的区别与联系

大家好!
sem是扫描电子显微镜,afm是原子力显微镜,fib是聚焦粒子束显微镜。
可是我不清楚的是,他们的优劣点到底是什么呢?
就是 什么情况下,用哪种电镜好呢?

希望高手解答阿,谢谢~
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即使有时我不是一个敢于说真话的人,但可以为敢说真话的人鼓掌......
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迷路的老马

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与应助~欢迎常来 2012-04-01 22:28:47
mseyj: 金币+5, 有帮助 2012-05-11 19:54:19
sem测样之前是不是要对样品进行处理(比如喷金:对于不导电的材料),AFM是扫描探针显微镜(SPM)的一种,优点是可以用来检测不导电的材料,如:生物材料,缺点是只能进行表面分析,要看内部结构应该用透射电镜吧。第三种没用过。
老马也迷途
3楼2012-04-01 10:05:06
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ,鼓励详细交流^0^ 2012-04-01 22:28:28
mseyj: 金币+5 2012-05-11 19:54:12
SEM这个大家比较了解,一般看表面形貌,对样品的损害程度不大

AFM是看表面粗糙度,如果比较比较粗糙的话(比如抛光后)对结果影响会比较大,一般用来看刚制备出的薄膜的表面形貌、粗糙度,因为样品未被污染

FIB也可以用来看样品形貌,但我觉得更多的是用来做样品的微加工,应FIB看样品表面的话,会对表面有损伤,因为用的是聚焦离子束,长时间打在样品表面会产生类似溅射的效果

补充一下:貌似三者产生的粒子束源也不一样,SEM是电子,FIB貌似是Ga离子,AFM不用离子吧,是靠隧穿或者类似的效应,依靠离表面远近不同而产生的电信号成相、

[ Last edited by wbcui on 2012-4-1 at 13:37 ]
2楼2012-02-23 10:23:19
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