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请教SEM与AFM与FIB的区别与联系
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大家好！ sem是扫描电子显微镜，afm是原子力显微镜，fib是聚焦粒子束显微镜。 可是我不清楚的是，他们的优劣点到底是什么呢？ 就是 什么情况下，用哪种电镜好呢？ 希望高手解答阿，谢谢~ |
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 表征与测试分析 | 原子力显微镜（AFM）资源及问题集锦 |
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wbcui
至尊木虫 (知名作家)
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【答案】应助回帖
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悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ，鼓励详细交流^0^ 2012-04-01 22:28:28
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SEM这个大家比较了解，一般看表面形貌，对样品的损害程度不大 AFM是看表面粗糙度，如果比较比较粗糙的话（比如抛光后）对结果影响会比较大，一般用来看刚制备出的薄膜的表面形貌、粗糙度，因为样品未被污染 FIB也可以用来看样品形貌，但我觉得更多的是用来做样品的微加工，应FIB看样品表面的话，会对表面有损伤，因为用的是聚焦离子束，长时间打在样品表面会产生类似溅射的效果 补充一下：貌似三者产生的粒子束源也不一样，SEM是电子，FIB貌似是Ga离子，AFM不用离子吧，是靠隧穿或者类似的效应，依靠离表面远近不同而产生的电信号成相、 [ Last edited by wbcui on 2012-4-1 at 13:37 ] |
2楼2012-02-23 10:23:19
3楼2012-04-01 10:05:06
