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ymiskiller

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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在线: 33.6小时
虫号: 1023994
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专业: 高分子材料结构与性能

[求助] 关于用交流阻抗测试半导体薄膜材料电阻率

本人现在在做SiC自由薄膜，想测薄膜的电阻率，由于材料尺寸的愿意，四探针电阻仪器上不去，现在想通过交流阻抗的方法来得到薄膜材料的电阻率，但对这个方法了解不多，找文献也没有发现，现在想来向各位虫友求租，希望了解的大侠同学帮个忙，谢谢啦，呵呵……

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1楼 2012-02-17 19:47:53

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xinyu_2007

铜虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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专业: 电化学

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ymiskiller(金币+10): 谢谢了，呵呵…… 2012-02-21 14:45:30

这种可以用不锈钢电极，薄膜放在电极之间，R=ρl/S，R由交流阻抗测得，l为两电极之间距离，s为电极面积。这样的参考文献很多啊，楼主可以自己找找。

2楼2012-02-17 21:22:29

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