应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 负胶光刻做倒梯形的程度与曝光时间有什么关系？？
51/1返回列表
查看: 4442  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xixiqs

新虫 (初入文坛)

[求助] 负胶光刻做倒梯形的程度与曝光时间有什么关系？？

是在可以显影出图形的情况下，曝光时间控制短些，形成的倒梯形就越倒？？？
对吗？？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
人心是唯一的国界。。。
1楼 2012-02-17 14:39:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-02-25 13:43:53
引用回帖:
7楼: Originally posted by xixiqs at 2012-02-21 16:39:31:
他们说曝光后烘烤对梯形影响很大，但显影后坚膜对倒梯形同样有很大影响。。。

，显影后坚膜的影响在于图形尺寸会扩大，厚度会减小，这是一定的，但是你怎么制作出所要的图形来，跟显影后坚膜没有关系！
赞一下 回复此楼
9楼2012-02-21 17:27:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-02-25 13:43:20
负胶光刻是比较不好控制的，各个所需要控制的量之间总是有各种不太确定的关系。如果单看能量的话，理论上讲，曝光时间短，胶体下表面就不会得到完全曝光，容易形成倒梯形。但是实际上，负胶光刻除了与曝光量有关系外，还与光刻胶厚度、图形尺寸以及显影时间等关系密切。需要各方面考虑才能得到好的结果。
赞一下 回复此楼
2楼2012-02-18 19:31:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xixiqs

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by ciompman at 2012-02-18 19:31:33:
负胶光刻是比较不好控制的，各个所需要控制的量之间总是有各种不太确定的关系。如果单看能量的话，理论上讲，曝光时间短，胶体下表面就不会得到完全曝光，容易形成倒梯形。但是实际上，负胶光刻除了与曝光量有关系 ...

负胶的坚膜对梯形会产生影响吧？？如果显影之后不坚膜，如何清洗和去除水分呢
赞一下 回复此楼
人心是唯一的国界。。。
3楼2012-02-20 13:47:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-02-25 13:43:33
引用回帖:
3楼: Originally posted by xixiqs at 2012-02-20 13:47:34:
负胶的坚膜对梯形会产生影响吧？？如果显影之后不坚膜，如何清洗和去除水分呢

显影之后再坚膜应该影响不大，甚至好多过程都需要显影后坚膜！
赞一下 回复此楼
4楼2012-02-20 14:25:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:30 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +6 FChKX8meu1ds 2026-11-09 11/550 2026-11-12 09:57 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 9/450 2026-11-12 09:54 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 10/500 2026-11-12 09:52 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +8 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 12/600 2026-11-12 09:21 by HajghKOMynmz
[考博] 27博士 +4 锦鲤送福至 2026-11-10 4/200 2026-11-12 09:05 by Superwj
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 cdqGD6ftHmbl 2026-11-11 3/150 2026-11-12 07:56 by HajghKOMynmz
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cdqGD6ftHmbl 2026-11-11 3/150 2026-11-12 07:53 by HajghKOMynmz
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 cdqGD6ftHmbl 2026-11-11 3/150 2026-11-12 07:53 by HajghKOMynmz
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 gRND4NVAZ8VG 2026-11-11 4/200 2026-11-12 07:34 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 1Nb0IVlmV6v0 2026-11-11 3/150 2026-11-12 07:23 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 czAiolzR0IJC 2026-11-10 6/300 2026-11-12 06:47 by 9fOTqj074tIg
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 4/200 2026-11-12 06:14 by 9fOTqj074tIg
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 6/300 2026-11-12 05:41 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 7/350 2026-11-12 05:39 by 9fOTqj074tIg
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 8/400 2026-11-12 05:08 by 9fOTqj074tIg
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 8/400 2026-11-12 05:00 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 9/450 2026-11-12 04:57 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 6/300 2026-11-11 17:03 by TgvkbZZl9tqB
[考博] 申请环境，微生物方向博士 +3 浅笑09 2026-11-08 3/150 2026-11-10 12:44 by 可淡不可忘
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭