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xixiqs

新虫 (初入文坛)

[求助] 负胶光刻做倒梯形的程度与曝光时间有什么关系??

是在可以显影出图形的情况下,曝光时间控制短些,形成的倒梯形就越倒???
对吗??
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人心是唯一的国界。。。
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xixiqs

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by ciompman at 2012-02-18 19:31:33:
负胶光刻是比较不好控制的,各个所需要控制的量之间总是有各种不太确定的关系。如果单看能量的话,理论上讲,曝光时间短,胶体下表面就不会得到完全曝光,容易形成倒梯形。但是实际上,负胶光刻除了与曝光量有关系 ...

负胶的坚膜对梯形会产生影响吧??如果显影之后不坚膜,如何清洗和去除水分呢
人心是唯一的国界。。。
3楼2012-02-20 13:47:34
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-02-25 13:43:20
负胶光刻是比较不好控制的,各个所需要控制的量之间总是有各种不太确定的关系。如果单看能量的话,理论上讲,曝光时间短,胶体下表面就不会得到完全曝光,容易形成倒梯形。但是实际上,负胶光刻除了与曝光量有关系外,还与光刻胶厚度、图形尺寸以及显影时间等关系密切。需要各方面考虑才能得到好的结果。
2楼2012-02-18 19:31:33
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-02-25 13:43:33
引用回帖:
3楼: Originally posted by xixiqs at 2012-02-20 13:47:34:
负胶的坚膜对梯形会产生影响吧??如果显影之后不坚膜,如何清洗和去除水分呢

显影之后再坚膜应该影响不大,甚至好多过程都需要显影后坚膜!
4楼2012-02-20 14:25:21
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xixiqs

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
: Originally posted by ciompman at 2012-02-20 14:25:21:
显影之后再坚膜应该影响不大,甚至好多过程都需要显影后坚膜!

咨询一家负胶的生产商说坚膜对倒梯形影响很大。。。他们建议省去坚膜
人心是唯一的国界。。。
5楼2012-02-20 20:45:18
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