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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 负胶光刻做倒梯形的程度与曝光时间有什么关系？？
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xixiqs

新虫 (初入文坛)

[求助] 负胶光刻做倒梯形的程度与曝光时间有什么关系？？

是在可以显影出图形的情况下，曝光时间控制短些，形成的倒梯形就越倒？？？
对吗？？
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人心是唯一的国界。。。
1楼 2012-02-17 14:39:16
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by xixiqs at 2012-02-21 16:39:31:
他们说曝光后烘烤对梯形影响很大，但显影后坚膜对倒梯形同样有很大影响。。。

那你就按照工程师的建议实验，应该就可以了
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8楼2012-02-21 17:25:00
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-02-25 13:43:20
负胶光刻是比较不好控制的，各个所需要控制的量之间总是有各种不太确定的关系。如果单看能量的话，理论上讲，曝光时间短，胶体下表面就不会得到完全曝光，容易形成倒梯形。但是实际上，负胶光刻除了与曝光量有关系外，还与光刻胶厚度、图形尺寸以及显影时间等关系密切。需要各方面考虑才能得到好的结果。
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2楼2012-02-18 19:31:33
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xixiqs

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by ciompman at 2012-02-18 19:31:33:
负胶光刻是比较不好控制的，各个所需要控制的量之间总是有各种不太确定的关系。如果单看能量的话，理论上讲，曝光时间短，胶体下表面就不会得到完全曝光，容易形成倒梯形。但是实际上，负胶光刻除了与曝光量有关系 ...

负胶的坚膜对梯形会产生影响吧？？如果显影之后不坚膜，如何清洗和去除水分呢
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人心是唯一的国界。。。
3楼2012-02-20 13:47:34
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
nuaajsh(金币+1): 鼓励交流 2012-02-25 13:43:33
引用回帖:
3楼: Originally posted by xixiqs at 2012-02-20 13:47:34:
负胶的坚膜对梯形会产生影响吧？？如果显影之后不坚膜，如何清洗和去除水分呢

显影之后再坚膜应该影响不大，甚至好多过程都需要显影后坚膜！
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4楼2012-02-20 14:25:21
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