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磁控溅射
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fzuhuangtao
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专业: 金属材料表面科学与工程
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磁控溅射
诸位英雄豪杰:
大家好!
本人在运用磁控溅射镀制TiN薄膜时,薄膜是黑色的,另外基片架上出现了类似彩虹的颜色,有劳大家帮我解释一下
基片架颜色
基片架颜色
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1楼
2012-02-16 17:05:27
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fzuhuangtao
铜虫
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专业: 金属材料表面科学与工程
引用回帖:
楼
:
Originally posted by
qfw_68
at 2012-02-16 20:49:03:
彩虹色条纹是薄膜厚度不同而产生的干涉现象(类似于肥皂泡出现的彩色条纹现象)
TiN为什么发黑就不清楚了,也许是N少Ti多的原因吧。
谢谢您,我看文献氮化钛薄膜没有出现黑色的,我调整了氮气的流量,结果还是黑色的,感到非常的疑惑。
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4楼
2012-02-17 10:09:13
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qfw_68
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最佳答案 2012-02-17 10:11:43
彩虹色条纹是薄膜厚度不同而产生的干涉现象(类似于肥皂泡出现的彩色条纹现象)
TiN为什么发黑就不清楚了,也许是N少Ti多的原因吧。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼
2012-02-16 20:49:03
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zhuhouge
木虫
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fzuhuangtao(金币+2):
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最佳答案 2012-02-17 10:12:04
TiN发黑可能与所加的偏压有关! 彩虹色圈与离子溅射时离子的轰击有关。
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不为别的,只为明天!!!
3楼
2012-02-16 23:50:36
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aheyingwhg
新虫
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专业: 气体放电与放电等离子体技
请问你解决了吗?我的也是
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5楼
2012-03-02 14:14:51
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