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fzuhuangtao

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

诸位英雄豪杰:
     大家好!
     本人在运用磁控溅射镀制TiN薄膜时,薄膜是黑色的,另外基片架上出现了类似彩虹的颜色,有劳大家帮我解释一下

基片架颜色



基片架颜色
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zhuhouge

木虫 (小有名气)

诸侯哥

【答案】应助回帖

fzuhuangtao(金币+2): ★★★★★最佳答案 2012-02-17 10:12:04
TiN发黑可能与所加的偏压有关! 彩虹色圈与离子溅射时离子的轰击有关。
不为别的,只为明天!!!
3楼2012-02-16 23:50:36
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